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SPINNER
회전척상에 반도체 Wafer를 안착한 후 회전하는 Wafer상에 화학물질을 떨어뜨려 상기 화학물질이 고르게 공급되도록 하는 장비
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SCRUBBER
브러쉬, 초음파, 고압 약품 그리고 순수를 사용하여 Wafer 위의 이물질을 제거하거나 거친 면을 고르게하는 장비
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WTR
Wafer Transfer Robot은 반도체 제조 장비에 설치되어 로봇의 전후 혹은 좌우 등으로 Wafer 이송을 담당하는 로봇
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WAFER FURNACE
반도체 확산 공정에서 사용되는 장비로 고온의 전기로를 이용하여 고체 상태의 Wafer 표면 위에 필요한 불순물을 주입시키거나 산화막을 만드는 장비
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PROBE STATION
Wafer Chip의 전기적 특성을 검사하는 반도체 전공정 핵심 검사 장비로 반도체 칩 안의 패드에 미세한 바늘을 접촉시킨 후 검사기의 전기적 신호로 칩의 양품/불량을 검사하는 장비
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WAFER TRACK
반도체 포토 공정에 사용되는 설비로 Wafer 표면에 고집도 미세회로를 생성하기 위해 감광액을 도포하고, 현상 시키는 장비